常見(jiàn)問(wèn)題
曝光機中UV燈工作原理
什么是曝光機:
曝光機即電子束曝光機,是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復雜的半導體加工設備。
曝光機基本工作原理:
在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱(chēng)為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域,從而在抗蝕劑上形成精細圖形。
在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱(chēng)為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光,受電子束輻照后的光刻膠,其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域,從而在抗蝕劑上形成精細圖形。
曝光機的應用范圍:
半導體生產(chǎn)線(xiàn)、微電子生產(chǎn)、LCD顯示、LCD顯示、線(xiàn)路板生產(chǎn)、PCB產(chǎn)品。
散光曝光機的特點(diǎn):
1、散光機曝光時(shí)燈光是直接照射的,如同電燈一樣,兩面曝光時(shí)上下燈是同時(shí)曝光的,
2、平行曝光機不可以曝阻焊油墨。
平行曝光機的特點(diǎn):
平行曝光機只有一個(gè)燈管,曝光臺面上下方有兩面鏡子,使用折射原理,兩面同時(shí)曝光時(shí),上下燈是分開(kāi)曝光的,先曝上燈,一面鏡子將光反到臺面上方鏡子上再折射到曝光臺面,曝下燈時(shí),光直射到下方鏡子上再折射到臺面上,所以用平行曝光機曝光,上燈能量一定要比下燈能量大些,曝光級數才能相同