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曝光機(jī)中UV燈工作原理
什么是曝光機(jī)：
曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)，是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。
曝光機(jī)基本工作原理：
在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
曝光機(jī)的應(yīng)用范圍：
半導(dǎo)體生產(chǎn)線、微電子生產(chǎn)、LCD顯示、LCD顯示、線路板生產(chǎn)、PCB產(chǎn)品。
散光曝光機(jī)的特點(diǎn)：
1、散光機(jī)曝光時(shí)燈光是直接照射的，如同電燈一樣，兩面曝光時(shí)上下燈是同時(shí)曝光的，
2、平行曝光機(jī)不可以曝阻焊油墨。
平行曝光機(jī)的特點(diǎn)：
平行曝光機(jī)只有一個(gè)燈管，曝光臺(tái)面上下方有兩面鏡子，使用折射原理，兩面同時(shí)曝光時(shí)，上下燈是分開曝光的，先曝上燈，一面鏡子將光反到臺(tái)面上方鏡子上再折射到曝光臺(tái)面，曝下燈時(shí)，光直射到下方鏡子上再折射到臺(tái)面上，所以用平行曝光機(jī)曝光，上燈能量一定要比下燈能量大些，曝光級(jí)數(shù)才能相同
